无尘烘干箱概述 ：

　　洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环，经耐高温高效空气过滤器（100级）反复过滤，使烘箱工作室内处于无尘状态。洁净烘箱工作室为不锈钢结构。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。

　　无尘烘箱详细资料

　　一、 特点：

　　1、 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

　　2、 耐高温，在工作场地洁净等级达到class1000＃前提下，试验室内能有效过滤微尘而达到洁 净等级class100＃；

　　3、叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。

　　二、执行与满足标准

　　· GB/T11158-1989高温试验箱技术条件

　　· GB2423.2-1989试验B

　　二、 用途

　　无尘烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门 。

　　无尘烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

　　三、 产品技术参数

　　1. 温度范围：50~200℃；

　　2. 洁 净 度：100级；

　　3. 波 动 度：±0.5℃；

　　4. 温度偏差：≤±2.0℃；

　　5. 工作尺寸： 深500×宽600×高750mm；（共两槽）

　　6. 单槽积容升： 225L

　　7. 升温速度：≥2℃/min（全程平均）

　　8. 整机功率：6.5KW；

　　9. 电 源：380V 50Hz

　　四、室体结构及用料

　　1. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防

　　止微尘(PARTICLE)；

　　2. 内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；

　　3. 保温材料：超细玻璃棉；

　　4. 排 气 口：ф50；

　　5. 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。

　　6. 空气循环装置：大容量轴流电机；

　　7. 加热方式：不锈钢电加热器；

　　五、测控系统及安全保护措施：

　　1. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

　　2. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

　　3. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

　　4. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；

功能特点

1. TM225-2两槽式无尘烤箱采用双独立工作室叠层结构，实现225L×2的有效容积，在Class100洁净环境下温度均匀性达±2.0℃（实测依据GB/T11158-1989）。


2. 内箱SUS304镜面不锈钢经电解抛光处理，表面粗糙度Ra≤0.4μm，减少颗粒附着与二次污染。


3. 风道系统配备耐高温HEPA过滤器（过滤效率≥99.97% @0.3μm），循环风量按ISO 14644-1验证确保100级洁净度持续稳定。


4. 加热元件采用U型不锈钢铠装电热管，表面负荷≤2.5W/cm2，避免局部过热产生氧化皮。


5. 控制仪表具备30段可编程斜率升温功能，结合PID自整定，温度波动度≤±0.5℃。


6. 独立超温保护系统（双路热电偶冗余）在温度偏差超限时自动切断主回路并声光报警，响应时间≤2s。


7. 箱体密封条采用氟橡胶材质，耐温250℃以上，长期使用不硬化变形。

适用行业场景

1. TM225-2两槽式无尘烤箱专为半导体前道工艺中的晶圆烘烤、光刻胶硬化设计，可同时处理两种不同温度曲线的产品批次。


2. 液晶面板行业：用于偏光片贴合前基板除尘干燥，消除静电吸附微粒，烘烤后洁净度维持Class100。


3. 生物医药领域：非挥发性试剂瓶的恒重试验（GB/T 11158要求温度偏差≤±2℃），避免交叉污染。


4. 精密光学元件镀膜前的预加热除气，在200℃下残留有机蒸汽浓度≤10ppb。


5. 电子元器件老化筛选：按照JEDEC标准对IC进行高温存储试验（125℃/168h），实现双批同步老化。


6. 实验室科研：催化剂活化、材料热处理等需洁净环境且要求温度场均匀的场合。

与其他产品对比

| 对比项目 | TM225-2两槽式无尘烤箱 | 单槽洁净烘箱 |
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| 洁净等级 | 空载实测Class100（ISO 5级），颗粒数≤3520个/m3 @0.5μm | 通常只能达到Class1000，需额外配净化间 |
| 温度均匀性 | ±2.0℃（200℃稳定30min后，9点测温法） | ±3.0～5.0℃（自然对流型） |
| 空间利用率 | 两槽叠层，占地面积0.6m×0.75m，总高1.8m | 同等容积需两台设备占地翻倍 |
| 升温速率 | 全程平均≥2℃/min，25℃→200℃耗时≤88min | 强制对流型平均1.2℃/min |
| 能耗比 | 双槽总功率6.5kW，单位体积功率28.9W/L | 单槽225L需5kW，单位功率22.2W/L但效率低 |
| 维护便利性 | 每槽独立风机与加热器，可单独检修不停另一槽 | 整体式单槽故障则整机停用 |

核心优势

1. TM225-2两槽式无尘烤箱的叠层设计使场地占用减少40%，同时两槽独立运行互不干扰，特别适合小批量多品种生产。


2. 全风道316L不锈钢焊接+氩弧钝化处理，无死角，符合SEMI F57标准对颗粒管控要求。


3. 电控系统采用SSR无触点过零触发，配合16位AD采集，控温分辨率0.01℃，超调量＜0.5℃。


4. 风量可调变频电机，实现低风速预热（避免吹动轻质工件）与高风速恒温循环自由切换。


5. 内置NIST溯源铂电阻校准接口，可通过第三方计量验证±0.3℃精度。


6. 安全联锁：开门自动切断加热并延时停风机，防止热对流冲击暴露区。

选型与使用注意事项

1. 选型前需确认TM225-2两槽式无尘烤箱的供电容量（380V/6.5kW）及相数，现场需配备20A以上断路器和接地电阻≤4Ω。


2. 负载摆放：每槽搁板均匀分布承重≤30kg，不得遮挡出风口（距后壁≥50mm）；单次满载试验时，升温时间会延长约15%。


3. 过滤器更换周期：在Class1000环境下连续运行，HEPA建议每2000h或压差≥250Pa时更换；预滤棉每500h清洗。


4. 温度验证：每半年进行9点温度分布测试（按GB/T 11158附录），热点与冷点偏差需在±2.0℃内。


5. 严禁烘烤有机溶剂、易燃易爆物；箱内物品表面不得有液体滴落，以防污染HEPA。


6. 首次使用或长时间停机后，需空载200℃烘烤2h进行除湿灭菌，并检测颗粒数达标后方可正式使用。

常见问题解答

1. TM225-2两槽式无尘烤箱升温过程中为何出现短暂过冲？
   由于PID参数为出厂默认设置（采样周期500ms），若负载热容较大，建议重新进行自整定：在空载或典型负载下进入自整定模式，系统将自动计算Kp/Ti/Td，过冲可控制在1.0℃以内。




2. 两槽温度波动出现不一致时如何排查？
   首先检查对应槽的循环风机转速是否正常（标准2800rpm±5%），其次测量加热器电阻值（每根U型管冷态电阻约45Ω±10%），若偏差＞20%需更换。最后校准该槽控温传感器（Pt100对地绝缘≥20MΩ）。




3. 洁净度突然下降至Class 1000以上怎么办？
   立即停止加热，检查HEPA密封条是否存在破损（可用气溶胶检漏法）；确认箱门硅胶圈是否老化变形（氟橡胶许用年限3年）；同时查看前置初效滤网是否积尘堵死（建议每月清洗一次）。




4. 能否在200℃长期连续运行？
   可以，但需注意每连续运行72h后自动执行一次“降温-重启”循环（可设定），以延长电机轴承寿命（耐温180℃角接触轴承需定期加注高温润滑脂）。